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製品紹介
真空計の校正装置
製品について
この真空計の校正装置は中真空領域を測定する真空計（主に熱伝導型真空計）を校正するための装置です。
装置の基本構成は、真空容器、メインポンプ、補助ポンプ、遮断バルブから構成され、全てを一つの架台に搭載しております。
※真空計の校正装置の設計、製作は、真空計校正方法JIS Z 8750 : 2009 に準じております。
※ご要望に応じて簡易型の製作も可能です。
※ 仕様はお打合せにより決定いたします。上記仕様表はご参考用です。
※ 基準真空計（参照真空計）をお求めになられる際は別途お打合せさせてください。
※ 基準真空計（参照真空計）により校正圧力範囲は変わります。
製品仕様
| 到達圧力 | 5.0×10⁻⁴ Pa 以下 |
| 校正圧力範囲 | 5.0×10⁻² ～ 1.0×10⁵ Pa |
| 圧力制御方式 | 手動操作 |
| 排気時間 | 約20分（ 大気圧から到達圧力まで） |
| 真空容器 | 形状 ： 円筒形（高さ224㎜） 材質 ： SUS304 表面処理 ： 電解研磨 真空計取付ポート数 ： 8ポート（ICF-70） （参照用3ポート、被校正用5ポート） |
| 排気系 | メインポンプ ： ターボ分子ポンプ 排気速度 70L/s 補助ポンプ ： ロータリーポンプ 排気速度 100L/min 真空バルブ ： バタフライバルブ |
| 気体導入系 | バリアブルリークバルブ、ニードルバルブ、レギュレーター |
| 外形寸法・重量 | 約 幅55×奥行50×高さ110㎝ 約150kg |
